[发明专利]一种可变量程电容式柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011627709.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112816107B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;雷骁;吴伟光;马丽筠;郭宣啟;李世峰 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 李欣荣 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可变量程电容式柔性压力传感器，它包括自下而上依次设置的下电极层、柔性腔体、柔性薄膜层和上电极层，其中柔性腔体中填充电流变介质层。本发明首次提出将电容器与填充电流变介质的柔性结构结合，在电容器两个可动电极之间设置电流变介质层，通过外加电场调节电流变介质层的机械特性，使所得柔性电容器可动电极在同等外力情况下所产生的形变发生改变，借助对柔性薄膜受力形变的影响调节两电极板间的压力‑电容特性，从而实现传感器压力检测量程的调节；本发明所得压力传感器可有效兼顾高灵敏度和宽线性量程，对推动柔性压力传感器的发展具有重要的研究和应用意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可变 量程 电容 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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