[发明专利]QFN芯片图像采集装置及其图像采集方法

摘要

本发明提供一种QFN芯片图像采集装置及其图像采集方法，所述装置，包括：X轴伺服运动滑台装置、Y轴伺服运动滑台装置、Y轴辅助运动滑台装置、Z轴手摇式运动滑台装置、相机、镜头、光源、料盘夹具、机架和上位机；上位机通过通讯线分别与PLC、相机串口通讯，用于发送控制指令给PLC，以使PLC控制X轴伺服运动滑台装置、Y轴伺服运动滑台装置工作，以控制相机在X轴、Y轴方向上移动，并获取相机采集的QFN芯片图像。该装置可以对料盘中的QFN芯片进行连续、高精度图像采集，以12mm/s的速度完成移动，拍摄芯片图像表面字符检测解析度达到20μm，可有效获取芯片表面详细特征信息，为芯片表面缺陷检测提供了一定的依据。