[发明专利]一种酸性蚀刻液及提高其蚀刻精度的控制方法在审
| 申请号： | 202011630645.5 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112831784A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 徐刚;吴国汉;雷廷龙;陈国明;舒利红 | 申请（专利权）人： | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 谭映华 |
| 地址： | 516008 广东省惠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了提供一种酸性蚀刻液及提高其蚀刻精度的控制方法，方法包括以下步骤：在蚀刻槽内放置需要蚀刻的含铜产品，往蚀刻槽内添加酸性蚀刻液，所述酸性蚀刻液包括二价铜离子、氢离子、氧化剂和络合剂，所述络合剂为乙二胺四乙酸；反应过程中，实时监测蚀刻槽内二价铜离子、络合剂和氢离子的浓度，控制二价铜离子的浓度在145～155g/L的范围内，控制氢离子的浓度在0.6～1当量的范围内，控制络合剂的浓度在200～600ppm的范围内，控制氧化剂的浓度在1～5g/L的范围内。本发明酸性蚀刻液的蚀刻因子高，蚀刻时反应平稳，能够提高蚀刻精度，从而提高蚀刻效果；反应容易控制，确保反应的稳定性，提高了蚀刻的精度，从而提高蚀刻后产品的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 酸性 蚀刻 提高 精度 控制 方法 | ||
【主权项】：
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