[发明专利]红外传递函数测量仪的装调方法有效
申请号: | 202011630800.3 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112747904B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 马洪涛;袁理;许洪刚;陈晓苹;李旭 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明;郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种红外传递函数测量仪的装调方法包括干涉仪主体、球面标准镜、标准平面镜;所述干涉仪主体产生口径为9mm的平面波,经球面标准镜变成球面波,球面波汇聚点调试到被测非球面镜焦点处,球面波经折转镜、非球面镜以平面波的方式出射到标准平面镜上,平面波按原路返回,经非球面镜、折转镜、干涉仪主体系统成像到干涉仪主体中的探测器上,最后分析计算探测器处的干涉图,可以得到红外传递函数测量仪光学系统的成像质量及焦点的准确位置。此时,将目标发生器靶板放置到非球面镜的焦点上,将像分析器放置到非球面镜出射光光轴上。 | ||
搜索关键词: | 红外 传递函数 测量仪 方法 | ||
【主权项】:
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