[发明专利]可改善单片清洗固体结晶物堆积的装置及湿法清洗设备有效
| 申请号： | 202011631610.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112845296B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 卢证凯;邓信甫;刘大威;陈丁堃 | 申请（专利权）人： | 至微半导体（上海）有限公司;江苏启微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 杜冰云;周涛 |
| 地址： | 200241 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可改善单片清洗固体结晶物堆积的装置及湿法清洗设备，所述装置包括清洗机构和用以带动清洗机构上下移动和在圆周方向旋转的顶升旋转机构，所述清洗机构包括套设在顶升旋转机构上的晶圆定位组件以及扣合固定在晶圆定位组件上的管件外壳，所述管件外壳内设置有晶圆吸附管和清洗液输送管。本发明利用伯努利原理使晶圆悬浮在该装置上方，可对清洗晶圆背面的污染物进行彻底清洗，提高了清洗效果，提高了清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 单片 清洗 固体 结晶 堆积 装置 湿法 设备 | ||
【主权项】：
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