[发明专利]一种自带聚光结构的微机电红外光源及其制备方法在审
| 申请号： | 202011631944.0 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112794280A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张洋;荆二荣;徐德辉 | 申请（专利权）人： | 厦门烨映电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C3/00;B81C1/00;G01N21/3504 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国(福建)自*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种自带聚光结构的微机电红外光源及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：形成第一结构层，自下而上依次包括衬底层、支撑层及黑体辐射层，衬底层中设有真空腔体，支撑层中设有通孔；形成第二结构层，其中设有聚光腔，聚光腔的内壁设有反射层；形成第三结构层，其包括滤光层；通过第一接合层键合第一、第二结构层，通过第二接合层键合第二、第三结构层，第二结构层位于第一、第三结构层之间，真空腔体、通孔及聚光腔依次连通，聚光腔的底部暴露出黑体辐射层，第三结构层封闭聚光腔的顶部开口。本发明中，聚光结构在芯片上直接集成，具有高集成度、低制造成本、高度一致性、良好封装气密性、更好的红外辐射效果的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚光 结构 微机 红外 光源 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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