[发明专利]柔性X射线探测器的制备方法

摘要

本发明提供一种柔性X射线探测器的制备方法，在形成感光器阵列层之前，将柔性基底结合于第一刚性基底之上，以满足制备感光器阵列层的高温及平整度需求，在形成感光器阵列层之后，将第一牺牲层结合于感光器阵列层之上，并将第一刚性基底去除，通过第二牺牲层可将第二刚性基底及柔性基底相结合，且在形成闪烁体层后，在进行第二刚性基底的去除过程中，由于第二牺牲层与柔性基底的结合力较小，从而可解决第二刚性基底与柔性基底的剥离的问题，以避免剥离过程中发生不必要的粘连现象。本发明可有效解决柔性X射线探测器的制备过程中，柔性基底与刚性基底分离的问题，从而可制备高质量的柔性X射线探测器。