[发明专利]半导体器件在审
申请号: | 202011634014.0 | 申请日: | 2020-04-30 |
公开(公告)号: | CN112786700A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 郝荣晖;黄敬源 | 申请(专利权)人: | 英诺赛科(苏州)半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/06;H01L21/335 |
代理公司: | 深圳宜保知识产权代理事务所(普通合伙) 44588 | 代理人: | 王琴;曹玉存 |
地址: | 215211 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种半导体器件,其包括第一氮化物半导体层、第二氮化物半导体层、源极、漏极、栅极、多个第一p型掺杂氮化物半导体岛、第二p型掺杂氮化物半导体岛以及介电层。第二氮化物半导体层设置于第一氮化物半导体层上,且具有的带隙大于第一氮化物半导体层的带隙。源极、漏极和栅极设置于第二氮化物半导体层上。第一p型掺杂氮化物半导体岛设置于第二氮化物半导体层上,以形成从第二氮化物半导体层突出的轮廓,其中部分的漏极覆盖在第一p型掺杂氮化物半导体岛之上,使得漏极的所述部分与第一p型掺杂氮化物半导体岛的轮廓共形。第二p型掺杂氮化物半导体岛设置于第二氮化物半导体层与栅极之间。介电层至少覆盖在栅极上。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
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