[发明专利]去除框胶的方法及用于去除框胶的装置

摘要

本申请属于掩模版生产技术领域，尤其涉及一种去除框胶的方法及用于去除框胶的装置。本申请的去除框胶的方法，预先将掩膜版和铝框进行固定，再使用切割刀具将铝框分离下来，再通过刮除刀具刮除聚乙烯框胶。具体地，该刮除刀具的刀刃与掩膜版的上表面平齐，这样，在刮除刀具的切割过程中，刮除刀具也不会破坏掩膜版，不影响由石英基板支撑的掩膜版的二次再生。本方法使用的方法简单、有效，极大的缩短了框胶去除的时间，且不使用有机溶剂，减少了环保的压力。