[发明专利]应力隔离结构、微机械检测结构及MEMS惯性测量器件有效
| 申请号： | 202011634821.2 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112816736B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏旭;杨拥军;任臣;徐淑静 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 魏笑 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种应力隔离结构、微机械检测结构及MEMS惯性测量器件，属于MEMS器件技术领域，应力隔离结构包括锚点，锚点上设有第一应力释放缺口。本发明提供的应力隔离结构、微机械检测结构及MEMS惯性测量器件，通过设置多道应力隔离结构，能够有效减轻芯片内部应力对有效质量的不良影响，解决现有MEMS惯性测量器件无法有效隔离芯片自身应力导致的精度失准的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 隔离 结构 微机 检测 mems 惯性 测量 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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