[发明专利]MEMS扫描镜有效
| 申请号： | 202011635265.0 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112817142B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;畠山庸平 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;G03B21/28;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 李远思 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS扫描镜。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜、用于使反射镜绕旋转轴旋转的压电致动器及反射镜旋转角度感测装置，反射镜旋转角度感测装置为压阻式压力传感器，该传感器包括：第一导电类型导电半导体层；形成在半导体层中具有第二导电类型的一个压阻区域和第一至第四电极接触区域，该压阻区域具有对称形状，第一电极接触区域和第二电极接触区域位于该压阻区域对称轴方向的两端，第三电极接触区域和第四电极接触区域位于压阻区域两侧关于该对称轴对称设置；形成在半导体层中包围压阻区域的环形保护区域，该环形保护区域不与压阻区域接触，具有第一导电类型且杂质浓度大于半导体层的杂质浓度。该实施方式可提升感测精度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扫描 | ||
【主权项】：
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