[发明专利]MEMS扫描镜及激光投影仪有效
| 申请号： | 202011635318.9 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112817144B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;畠山庸平 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03B21/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 李远思 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS扫描镜及激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜、角度传感器、控制单元和用作悬臂的致动器，所述致动器用于根据所述控制单元的控制使所述反射镜绕第一旋转轴旋转，所述角度传感器用于感测反射镜绕所述第一旋转轴旋转的偏转角度并向所述控制单元输出信号，所述控制单元包括驱动器和电荷读出电路，所述电荷读出电路用于根据来自所述角度传感器的输出向所述驱动器输出恒定电压信号。该实施方式可降低角度传感器输出信号的噪声功率，提升信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扫描 激光 投影仪 | ||
【主权项】：
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