[发明专利]多功能真空纳米薄膜镀膜环式生产线在审
| 申请号： | 202011636956.2 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112853305A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王建峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市嘉德真空光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 郑学伟;叶利军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多功能真空纳米薄膜镀膜环式生产线，包括第一镀膜生产线、第二镀膜生产线及衔接设备，其中，衔接设备包括衔接真空箱及设在衔接真空箱内的旋转平移机构，衔接真空箱衔接在第一镀膜生产线的末端和所述第二镀膜生产线的起始端之间，旋转平移机构设在衔接真空箱内且可驱动载具平移进入所述第二镀膜生产线的起始端，或者驱动所述载具旋转180°进入至所述第二镀膜生产线的起始端。根据本发明实施例提供的多功能真空纳米薄膜镀膜环式生产线，可以实现基材的二次镀膜加厚，或者对两个基材进行镀膜，显著提高产能及效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 真空 纳米 薄膜 镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
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