[发明专利]一种液晶显示面板、薄膜晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 202011639252.0 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112635574B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 夏玉明;卓恩宗;康报虹 | 申请（专利权）人： | 北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;G02F1/1368;G02F1/1362;G03F1/80 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请适用于显示技术领域，提供了一种液晶显示面板、薄膜晶体管及其制备方法，通过在第一道光罩制程中，制备包括第一氮化物导电层、金属层和第二氮化物导电层的源漏极层及光刻胶层；和/或，在第二道光罩制程中，将第二次湿刻的持续时间缩短为85S～95S；和/或，在第二道光罩制程中，将第二次干刻的持续时间延长为40S～50S，可以有效减小接触层的拖尾大小、增大栅极层和漏源极层之间的通道长度和沟道区域的长度，使薄膜晶体管的关态电流正常，提高基于该薄膜晶体管实现的液晶显示面板的可靠性降低，降低产生画面异常的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶显示 面板 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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