[发明专利]一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法

摘要

一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法，在洁净衬底上制造出具有沟槽结构的可溶性光敏树脂模具；在其沟槽结构中刮涂导电浆料，形成嵌入在可溶性光敏树脂模具中的导电网络；将可溶性光敏树脂模具在溶解剂中溶解以去除模具，得到裸露在洁净衬底表面的导电网络；在具有导电网络的洁净衬底上旋涂柔性透明聚合物，然后抽真空保证导电网络良好地嵌入在柔性透明聚合物中，固化柔性透明聚合物；将固化好的柔性透明聚合物从洁净衬底上揭下，嵌入在柔性透明聚合物中导电网络伴随柔性透明聚合物一起从洁净衬底上揭下，从而形成柔性透明导电薄膜；解决使用导电浆料的局限性，提供了通过结构设计提高导电薄膜性能的方法；具有成本低廉、工艺简单、适用性广、可大规模、大面积制造的优点。