[发明专利]一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备在审
| 申请号： | 202011640590.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112779539A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 钱超;杨柯;牛恩众;余强根 | 申请（专利权）人： | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C25F7/00 |
| 代理公司： | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人： | 梁国海 |
| 地址： | 213311 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备，包括底板，底板的顶部固定安装有作业池，作业池顶部的两侧均固定安装有第一导轨，第一导轨的外部活动套接有第一电动导轨，第一电动导轨的相对侧固定安装有折板，折板的另一端固定安装有安装板，第一导轨的一侧开设有插销孔，插销孔的内部活动安装有销轴。通过第一通电柱和第二通电柱的顶部通过导线与控制箱相连，在作业池内部放入化学酸碱蚀刻液时，用以电流电压等方式检测其酸碱根离子的浓度，减轻了作业人员的劳动强度，通过第一通电柱和第二通电柱为电解过程通电提供电源，通过设置蚀刻板槽可以将不同金属掩膜版安装卡接在内部，优化了其对不同膜版适应，加强了作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 穿戴 金属 掩膜版用 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
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