[发明专利]利用硅棒头尾料制备硅片的方法及应用在审
申请号: | 202011640997.9 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112847852A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 陈涛;季建;岳维维;曹育红 | 申请(专利权)人: | 常州时创能源股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04;B24B1/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用硅棒头尾料制备硅片的方法,用于制备单晶硅片,所述硅棒头尾料为硅棒截断后产生的头部硅料和尾部硅料,所述硅棒头尾料包括:圆形底部,位于圆形底部上的凸起部;所述方法包括如下步骤:(S1)开方:沿位于硅棒头尾料凸起部的弧面对硅棒头尾料进行开方,得头尾料小块;(S2)截断:对头尾料小块进行截断,去除不满足硅片边长尺寸的凸起部,得长方体硅块;(S3)切片:沿长方体硅块厚度方向进行切片,得单晶硅片。本发明提供了一种单晶硅片的制备方法,利用对单晶硅棒的头尾料进行切割而制得,提高了原有硅棒的利用率;减少了头尾料重新回炉而带来的二次消耗。 | ||
搜索关键词: | 利用 棒头 制备 硅片 方法 应用 | ||
【主权项】:
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