[发明专利]利用涂布有光刻胶的过期空白原材制造光罩的方法

摘要

本发明实施例涉及一种利用涂布有光刻胶的过期空白原材制造光罩的方法，包括以下步骤：使用涂布有光刻胶且已过期的空白原材，按照常规的黄光制程进行曝光、显影、蚀刻和脱膜作业；根据光刻胶确定烘烤参数，并根据所述烘烤参数在曝光和显示两工序之间或者在显影和蚀刻两工序之间对原材进行烘烤作业。本发明实施例通过在使用已过期的空白原材制作光罩的过程中增加一道烘烤工序，而可以有效改善因空白原材上的光刻胶保护性能降低所带来的光罩针孔和线边缺口问题，无论在针孔和线边缺口的数量还是尺寸大小上，都有显著的改善，可有效减小原材报废量，降低光罩制造成本。