[发明专利]一种用于制造半导体芯片的方法在审
申请号: | 202011643856.2 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112838056A | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 赵浩;张静;陈博;黎载红 | 申请(专利权)人: | 上海波汇科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201613 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于制造半导体芯片的方法,所述方法包括:在所述晶片上的凹凸不平的所述电路图形中填充液体光可固化的粘合剂,在所述晶片上固化所述光可固化的粘合剂形成粘结层,在每个半导体芯片的第一主面与各侧面之间的过渡部位形成凹处,将金属层布置到第二主面上和布置到所述多个侧面上,其中所述金属层不被沉积到所述凹入内的弯曲表面上,本发明通过执行后表面研磨,然后在透光支撑件上切割半导体晶片,以将半导体晶片分为半导体芯片的一系列步骤,通过粘结层在硬的透光支撑件上固定半导体晶片,由此晶片可以被研磨至非常小的厚度,而不导致任何损坏,以及也可以被切割,而不产生碎屑。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 制造 半导体 芯片 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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