[发明专利]一种高密度MOM电容器结构及其设计方法有效
| 申请号： | 202011644044.X | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112768607B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 李永福;黄家杰;陆叶王青;王国兴;连勇 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种高密度电容器结构的设计方法，高密度电容器结构是一种新型金属‑氧化物‑金属(MOM)电容结构，本发明可以通过改变转向次数、组数量及重构方式来改变电容容值，具有高可扩展、高电容密度、光刻误差小的特点。应用于需要高密度或高精度集成电容的场合中，比如开关电容电路、采样保持电路、仪表放大器等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 mom 电容器 结构 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
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