[实用新型]一种化学气相沉积炉炉盖

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉炉盖，包括水冷钢外壳，水冷钢外壳上端设置有排气管，水冷钢外壳下端外侧设置有侧板，侧板内填充保温棉；水冷钢外壳底部放置有底板，水冷钢外壳下部穿过保温棉和底板焊接有连接杆，连接杆通过螺母拧紧在压紧底板底部。本实用新型通过碳/碳复合材料板材作为化学气相沉积炉炉盖底板，由于碳/碳复合材料具有低密度、高强度、耐高温、耐腐蚀气氛等优点，有效解决了传统化学气相沉积炉炉盖长期使用后底板碳化，变形，焊缝开裂、掉落的问题，而且随着使用时间的增加，碳/碳复合材料底板密度增加，强度也随之提高。