[实用新型]压力平衡装置

摘要

本实用新型公开了一种压力平衡装置，包括：主路管道，包括第一进气口和第一出气口，第一出气口与反应腔连通；废气管道，包括第二进气口和第二出气口；至少一个反应气体管道，每个反应气体管道包括第三进气口和第三出气口，第三出气口分别与第一支路和第二支路连接，第一支路和主路管道连接，第一支路内设置有主路阀，第二支路和废气管道连接，第二支路内设置有旁通阀；压力传感器，设置在主路管道内，用于检测主路管道内的压力；压力控制器，与压力传感器连接，设置在废气管道内，用于控制废气管道内的压力以使得废气管道内的压力与主路管道内的压力始终保持平衡。本实用新型的压力平衡装置能够保持主路管道和废气管道的压力始终平衡。