[实用新型]一种可快速冷却的高温箱式电阻炉有效

专利信息
申请号: 202020015200.5 申请日: 2020-01-03
公开(公告)号: CN211626087U 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 谢斌;刘浩项;刘彬;刘永昌 申请(专利权)人: 安徽晶谷周界微电子股份有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D9/00;F27D5/00;F27D7/06;F27D1/00
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 王桂名
地址: 233000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型涉及一种可快速冷却的高温箱式电阻炉,包括箱体、加热炉、液压底座,所述加热炉通过多个液压底座固定在所述箱体内部,所述加热炉的一内侧壁安装有冷却氮气进气管道,所述冷却氮气进气管道穿过所述箱体的侧壁与外接氮源连接,在所述加热炉的侧壁上沿其高度方向安装有与所述冷却氮气进气管道相连通的冷却风管,在所述冷却风管上开设有向所述加热炉内部吹风的出风口;在所述加热炉的顶部设置有贯穿所述箱体的抽气口。本实用新型高温箱式电阻炉中设置双层结构,解决了传统电阻炉由于工件撞击而毁损的问题;通过冷却氮气进气管道与冷却风管向加热炉内均匀通入冷却氮源,通过抽气口抽气,带走加热炉内部热量,实现对工件的快速冷却。
搜索关键词: 一种 快速 冷却 高温 箱式 电阻炉
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