[实用新型]一种气体管道的测试设备有效
| 申请号： | 202020018603.5 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN211147965U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/22 | 分类号： | G01M3/22;G01N33/00;G01N15/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201108 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气体管道的测试设备，属于检测设备技术领域。该气体管道的测试设备，用于对至少两个气体管道的测试，包括并联连接的抽真空单元、保压单元、检测单元和充气单元，其中，抽真空单元并列设置有多个第一通路，每个第一通路与对应的一个气体管道连接，用于相应气体管道的抽真空；保压单元并列设置有多个第二通路，每个第二通路与对应的一个气体管道连接，用于相应气体管道的保压；检测单元用于相应气体管道的气密性检测及水分、氧分及颗粒的检测；充气单元并列设置有多个第三通路，每个第三通路与对应的一个气体管道连接，用于向相应气体管道内充气。本实用新型提供的气体管道的测试设备，满足批量化生产需求，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 管道 测试 设备 | ||
【主权项】：
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