[实用新型]一种防止旋转不平衡的石墨基座

摘要

本实用新型涉气相沉积领域，特别涉及一种防止旋转不平衡的石墨基座。其包括旋转基座、安装槽、与销钉配合连接的卡槽，安装槽设置在旋转基座的中心位置并从旋转基座的上表面向底部延伸，安装槽的外侧周围均匀凸出设置有多个卡槽，卡槽从旋转基座的上表面向底部延伸，卡槽与安装槽连通。本石墨基座解决由于旋转过程中由于石墨基座单边受力，容易引起石墨基座旋转不平衡，从而影响产品生产的稳定性的问题，能有效降低石墨基座旋转不平衡导致产品报废的概率，显著提高薄膜均匀性以及质量，并有效延长石墨基座的使用周期。