[实用新型]一种真空阀门有效
| 申请号： | 202020026135.6 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN212155868U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 廖海涛;孙文彬 | 申请（专利权）人： | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/18 | 分类号： | F16K3/18;F16K3/314;F16K31/16;F16K31/524;F16K51/02 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种真空阀门，包括门板部，传动部和支架部。门板部包括门板、门板固定杆、门板固定连接块和门板轴杆连接件。传动部包括所述传动部包括传动轴、传动轴套筒、支架套筒、升降滑轨、弹性部件、连接凸轮、连接凸轮连接件和气缸。支架部包括整体气动支架、气缸支架，所述气缸支架还包括气缸侧边支架、气缸U型支架和气缸上端支架。整个传动部安装在支架部上，传动部的上端和门板部固定连接。本实用新型结构简易，维修方便，不易产生污染。发生故障时可以锁定装置，保护产品和人身安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 阀门 | ||
【主权项】：
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