[实用新型]研磨头及研磨装置有效
| 申请号： | 202020031149.7 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN211589699U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 林智雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/20;B24B37/34;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 佟胜男 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种能够使晶片的周缘部不被过度研磨的研磨头以及研磨装置。在背衬件的下方设置有在中空部收容晶片的大致圆环形状的晶片保持部，在无负载状态下晶片保持部的厚度为晶片的厚度以上。晶片保持部具有由不会弹性变形的材料形成且厚度为晶片的厚度以下的大致圆环形状的框部、以及由能够弹性变形的材料形成的大致圆环形状的缓冲件，缓冲件粘接或者贴附于所述背衬件，框部粘接或者贴附于所述缓冲件。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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