[实用新型]一种湿法处理设备气密性安装结构有效
| 申请号： | 202020033584.3 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN212553856U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;许峯嘉;庄海云;陈佳炜;徐铭 | 申请（专利权）人： | 江苏启微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J5/02;B65G47/90;F04D29/70 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 杜冰云 |
| 地址： | 226299 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种湿法处理设备气密性安装结构，包括风机过滤单元、排气机构、阻挡片、设备区段隔离门及机械手臂隔离板，所述湿法处理设备包括并列设置的多个工艺区段，每个所述工艺区段的顶部均设置有用于安装所述风机过滤单元的安装口，所述安装口为矩形且于4个角点位置设置有L形阻挡片，所述风机过滤单元的底部设置有与所述L形阻挡片相匹配的卡合槽，所述风机过滤单元的出风口与所述工艺区段连通，所述机械手臂隔离板沿所述湿法处理设备的长度方向设置，所述排气机构安装于所述工艺区段的底部。本实用新型在湿法处理设备的安装口处设置有L形阻挡片，与风机过滤单元底部的卡合槽相匹配，保证了风机过滤单元安装的气密性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 处理 设备 气密性 安装 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏启微半导体设备有限公司，未经江苏启微半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020033584.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
