[实用新型]一种研磨液加湿系统有效
| 申请号： | 202020037490.3 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN211540870U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 罗保兴 | 申请（专利权）人： | 上海吉啸电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 于刚 |
| 地址： | 201499 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及研磨液装置技术领域，具体公开了一种研磨液加湿系统，包括研磨液桶，在所述研磨液桶上安装一个加湿系统，所述加湿系统包括加湿器装置、N2供气装置和DIW供液装置，所述研磨液桶和所述加湿器装置均DRAIN2废液排出装置连接；所述DIW供液装置和N2供气装置均与所述加湿器装置连接；所述加湿器装置与研磨液桶连接；打开与加湿器装置连接的DIW供液装置的气动阀或手动阀和N2供气装置的手动阀，纯水和N2进入所述加湿器装置中，形成水雾进入与加湿器装置连接的研磨液桶内。本实用新型实施例提供的一种研磨液加湿系统，通过加湿器产生水蒸气，对研磨液进行加湿，减少研磨液结晶率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 加湿 系统 | ||
【主权项】：
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