[实用新型]一种基于太赫兹全金属超材料的微流传感芯片

摘要

本实用新型提供一种基于太赫兹全金属超材料的微流传感芯片，其包括全金属超材料层和微流通道，全金属超材料层为一层带一定数量镂空图案的全不锈钢超材料，厚度为0.05mm,镂空图案为一个对称型的哑铃图案；微流通道附着在全金属超材料层表面上并且覆盖镂空图案；微流通道包括微流通道液体入口、微流通道中间部分和微流通道液体出口；当垂直入射的入射电磁波极化方向沿着哑铃短轴时，可以激发一个磁环偶极子和一个电偶极子，对应的在0.5‑1.5THz频率范围内产生一个透射峰，然后待测液体从微流通道液体入口进入，与全金属超材料层直接接触再从微流通道液体出口流出，通过对透射峰峰值波长漂移的检测，能够实现0.5‑1.5THz频率范围内的高灵敏度的液体折射率检测。