[实用新型]一种硅片加工用匀胶机有效

专利信息
申请号: 202020058554.8 申请日: 2020-01-13
公开(公告)号: CN211707288U 公开(公告)日: 2020-10-20
发明(设计)人: 张曹朋 申请(专利权)人: 安徽弘电微电子有限公司
主分类号: B05C11/10 分类号: B05C11/10;B05C11/11
代理公司: 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 代理人: 陆滢炎
地址: 247100 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种硅片加工用匀胶机,包括底座,所述底座的顶部设置有圆柱形腔体,所述圆柱形腔体内部的中心位置处设置有电机,且圆柱形腔体内侧顶端沿其圆周方向设置有环形齿,所述电机的输出端固定连接有旋转板,所述旋转板的一侧通过轴承设置有旋转杆,所述旋转杆底端延伸至环形齿内侧固定连接有齿轮。本实用新型电机带动旋转盘转动,而胶瓶随着旋转盘在水平方向发生转动,使得胶瓶内部的二甲苯稀释剂光刻胶进行混合,且由于胶瓶固定柱底部的旋转杆齿轮与环形齿相互啮合,进而使得旋转杆带动胶瓶固定柱发生转动,从而使得胶瓶自身发生转动,提高了二甲苯稀释剂光刻胶混合效率,同时本实用新型结构简单,制作成本低。
搜索关键词: 一种 硅片 工用 匀胶机
【主权项】:
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