[实用新型]一种钝化镀膜系统

摘要

本实用新型涉及一种钝化镀膜系统，属于太阳能电池制造技术领域，解决了现有系统钝化镀膜时间长、钝化仓和PECVD工艺仓温差大，易于出现碎片的问题。本实用新型的钝化镀膜系统包括进料仓、抗PID装置、PECVD工艺仓和出料仓；抗PID装置包括气瓶、诱导装置和钝化仓；诱导装置能够在常温下诱发O2产生O3；钝化仓、PECVD工艺仓和出料仓的仓门上均设有位置传感器，用于实现各个仓门的自动开启和关闭。本实用新型实现了常温下形成SiO2钝化膜。