[实用新型]一种具有在线监控功能的超声波清洗装备有效
| 申请号： | 202020081610.X | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN212821462U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 郭锦龙;刘会萍;程云立;马华;付久龙 | 申请（专利权）人： | 长钛工程技术研究院（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/14;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 100040 北京市石景山*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，至少包括两套清洗设备和一套干燥设备；所述清洗设备包括清洗槽和储液槽，在清洗槽和储液槽之间设置有进液管道和出液管道，在进液管道上设置有进液泵，在出液管道上设置有过滤装置和液体检测装置；所述干燥设备包括干燥腔体和加热腔体，在干燥腔体上设置有湿度传感器。本实用新型可在线监测与跟踪清洗工作液的参数及干燥腔体的湿度数据，提高镀膜工件的清洗和干燥效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 在线 监控 功能 超声波 清洗 装备 | ||
【主权项】：
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