[实用新型]单晶炉热场装置及单晶炉有效
| 申请号： | 202020086870.6 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN211872142U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 邓浩;严立新;付泽华;马少林;王建波;马宝;文永飞;谢志宴 | 申请（专利权）人： | 华坪隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京工信联合知识产权代理有限公司 11266 | 代理人： | 白晓晰 |
| 地址： | 674800 云南省丽*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开单晶炉热场装置及单晶炉。该单晶炉热场装置，包括：热屏，所述热屏在其中心形成有气流通道；换热部件，所述换热部件设置在所述气流通道内，并围合地形成提拉通道；所述热屏用于设置在坩埚的上方；所述热屏具有底部，所述底部至少部分地阻挡在所述换热部件与所述坩埚内的硅熔体液面之间。该单晶炉热场装置在热屏形成的气流通道内，设置换热部件，快速带走结晶释放的潜热；热屏的底部至少部分地阻挡在所述换热部件与硅熔体液面之间，改善热屏的效能；增加晶体纵向温度梯度，提高晶体生长速度。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉热场 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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