[实用新型]一种纳米压印设备有效

专利信息
申请号: 202020088977.4 申请日: 2020-01-16
公开(公告)号: CN210954603U 公开(公告)日: 2020-07-07
发明(设计)人: 冀然 申请(专利权)人: 青岛天仁微纳科技有限责任公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266109 山东省青岛市城阳区长城*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种纳米压印设备,包括腔体,腔体的内腔固定连接有托盘,托盘的顶侧壁装配有基板,腔体的内腔装配有紫外灯罩,紫外灯罩的内腔装配有紫外灯,压板的底侧壁装配有软模具,软模具的底侧壁装配有夹具,紫外灯罩的底侧壁装配有遮光板,遮光板的外侧壁对称固定连接有凹块,凹块的内腔装配有凸块,凸块的外侧壁固定连接有弹簧,弹簧的外侧壁固定连接有侧杆,侧杆的外侧壁与支架固定连接。本实用新型设置一种纳米压印设备,通过弹簧推动凸块,将遮光板进行固定,然后进行纳米压印,该过程在不更换软模具的情况下,仅需更换基板,实现循环操作,而且避免发生溢胶现象,防止造成基板粘在托盘上难以分离。
搜索关键词: 一种 纳米 压印 设备
【主权项】:
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