[实用新型]一种用于集成电路测试的表面扫描装置有效
| 申请号： | 202020107121.7 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN211698032U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 郑益民;王逸晨;方旭 | 申请（专利权）人： | 浙江诺益科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/28;G01R29/14;G01R33/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于集成电路测试的表面扫描装置，包括工作台，所述工作台顶部的靠中心位置固定安装有放置板，所述放置板的顶部设置有被测试设备本体，所述被测试设备本体的底部与放置板的顶部接触，所述工作台顶部的靠两侧位置均固定连接有支撑板，两个支撑板的顶部固定连接有顶板。该用于集成电路测试的表面扫描装置，通过活动板、扫描支架、横板、旋转轴、探头安装块和探头的设计，使得该装置采用机械定位的方式，拥有高精度的定位系统，保证定位的准确和稳定，使用的定位系统为传统笛卡尔坐标系，机械定位方式，并添加旋转轴，实现四轴定位，精度达到万分之一米级别，磁场探头和电场探头设计结构不同，提高了采样精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 集成电路 测试 表面 扫描 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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