[实用新型]窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具有效
| 申请号： | 202020107396.0 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN211697584U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 朱雷;纪约义;吴俊贤;徐可;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273 |
| 代理公司： | 北京崇智专利代理事务所(普通合伙) 11605 | 代理人： | 赵丽娜 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及窄截面光电子能谱测试技术领域，尤其涉及一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，包括基板和固定板；所述基板的顶部设置有至少一个准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；所述固定板和所述基板之间设置有连接结构；所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。本实用新型提供的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具用于消除来自于测试样品表面的信号干扰，特别适用于样品相邻测试面材料与截面材料不同的样品测试，能够成功屏蔽来自测试样品相邻测试面的干扰信号，实现了对样品截面的光电子能谱精准测试。 | ||
| 搜索关键词： | 侧壁 样品 光电子 测试 消除 干扰 信号 夹具 | ||
【主权项】：
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