[实用新型]一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202020109694.3 | 申请日： | 2020-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN210956593U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 刘鑫培;沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙) 32435 | 代理人： | 王悦 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置，包括主体框架、真空组件、传输组件、弹夹，所述传输组件的数量为一组，每个所述传输组件分别设置在所述主体框架的两端；所述真空组件设置在所述主体框架上，所述真空组件包括真空腔、电极、抽真空接头；所述电极为平板电极，所述弹夹两侧设置有开槽；本实用新型解决了现有技术中等离子体处理装置的处理效率低、等离子体处理均匀性有限的缺陷，本实用新型能够实现对弹夹式产品进行流水线式等离子体处理，提高处理效率，提高等离子体处理的均匀性，从而提高产品的处理质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 处理 弹夹 产品 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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