[实用新型]非对称面积石墨烯金属异质结光电探测器

摘要

本实用新型公开了一种非对称面积石墨烯金属异质结光电探测器，包括硅衬底、二氧化硅层、三氧化二铝钝化层、高功函电极、低功函电极和石墨烯层，二氧化硅层位于硅衬底的上方，高功函电极和低功函电极均位于二氧化硅层远离硅衬底的一侧，高功函电极和低功函电极之间具有间隙，石墨烯层位于高功函电极和低功函电极远离二氧化硅层的一侧，且覆盖间隙，高功函电极与石墨烯层的接触面积大于低功函电极与石墨烯层的接触面积。实现石墨烯层位于高功函电极和低功函电极的上方，增加了吸光面积，同时高功函电极和低功函电极与石墨烯层非对称设置，高功函电极大于低功函电极，提升了光电流，增加了非对称面积石墨烯金属异质结光电探测器实用性。