[实用新型]复合式薄膜传感器有效

专利信息
申请号: 202020117540.9 申请日: 2020-01-19
公开(公告)号: CN211696234U 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 郑岳世;纪岚中 申请(专利权)人: 华一声学股份有限公司
主分类号: G01B7/16 分类号: G01B7/16;G01L1/14;G01L1/16;G01L1/20
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 任芸芸;郑特强
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 实用新型公开一种复合式薄膜传感器,其包括两个薄膜基材、两个导电图案层、至少一压电薄膜及至少一薄膜压力传感器。两个导电图案层分别设置于两个所述薄膜基材的内侧面;至少一压电薄膜及至少一薄膜压力传感器,设置于两个薄膜基材之间,并且电性连接两个导电图案层;当薄膜基材受力弯曲或变形时,通过压电薄膜输出一电压形式的第一感测信号,用以检测薄膜基材的变形或动作,并且压电薄膜输出一电流形式的第二感测信号,用以检测薄膜基材承受压力的变化。
搜索关键词: 复合 薄膜 传感器
【主权项】:
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