[实用新型]复合式薄膜传感器有效
申请号: | 202020117540.9 | 申请日: | 2020-01-19 |
公开(公告)号: | CN211696234U | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 郑岳世;纪岚中 | 申请(专利权)人: | 华一声学股份有限公司 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;G01L1/14;G01L1/16;G01L1/20 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 任芸芸;郑特强 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开一种复合式薄膜传感器,其包括两个薄膜基材、两个导电图案层、至少一压电薄膜及至少一薄膜压力传感器。两个导电图案层分别设置于两个所述薄膜基材的内侧面;至少一压电薄膜及至少一薄膜压力传感器,设置于两个薄膜基材之间,并且电性连接两个导电图案层;当薄膜基材受力弯曲或变形时,通过压电薄膜输出一电压形式的第一感测信号,用以检测薄膜基材的变形或动作,并且压电薄膜输出一电流形式的第二感测信号,用以检测薄膜基材承受压力的变化。 | ||
搜索关键词: | 复合 薄膜 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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