[实用新型]一种扫描探针电阻测试系统有效
| 申请号： | 202020121747.3 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN211785799U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张海涛 | 申请（专利权）人： | 天津丘山仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 天津英扬昊睿专利代理事务所(普通合伙) 12227 | 代理人： | 吴扬 |
| 地址： | 300000 天津市西青区经济技术开发区赛达九纬*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种扫描探针电阻测试系统，包括基准平板、Y轴位移台、支撑结构、X轴位移台、Z轴位移台、显微摄像头、探针头、导线、测量仪表、计算机、位移台控制器、数据线、样品托盘，基准平板上设有Y轴位移台，Y轴位移台一端的基准平板上竖直设有支撑结构，支撑结构顶部设有X轴位移台，X轴位移台中间位置设有Z轴位移台，Z轴位移台上固定安装有探针头，基准平板的一侧设有计算机。本实用新型的优点在于：可以实现用程序自动测量和更换样品点，从而完成大量样品尤其是样品电阻分布的测量，系统包含显微摄像头，用于监控测试过程、定位样品点位置、观察样品及探针状态等，基准平板用于提供基准平面，有助于样品的精确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 电阻 测试 系统 | ||
【主权项】：
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