[实用新型]一种晶圆撕胶废膜回收装置有效
| 申请号： | 202020136736.2 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN211766866U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈志远;聂伟;孟强;徐学飞;王坤;苏杨生 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | B65B69/00 | 分类号： | B65B69/00;B65H18/10;B65H20/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种晶圆撕胶废膜回收装置，包括竖直设置的安装基板，安装基板上可转动地设置有放料轴，放料轴上安装有胶带料盘，导向辊组下方对应设置有驱动晶圆工作台移动的驱动机构，胶带料盘放出的胶带经过导向辊组导向后与晶圆相接触，与晶圆相接触的胶带最后卷绕到收料筒上，所述安装基板背面对应收料筒竖直设置有驱动气缸，驱动气缸的活塞杆伸出端铰接有摆动杆，摆动杆端部连接有压杆轴，压杆轴向前穿过安装基板，位于安装基板前面的压杆轴上套设有压杆，压杆与收料筒相对应设置，压杆上设置有位置传感器；所述安装基板正面设置有控制驱动气缸的控制开关。本实用新型能够对撕下来的废胶膜进行清理回收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆撕胶废膜 回收 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏汇成光电有限公司，未经江苏汇成光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020136736.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带夹紧功能的套筒扳手
- 下一篇：一种可更换装夹的玻璃模具夹具
