[实用新型]一种晶圆传动机械臂校准用测试片有效
| 申请号： | 202020138029.7 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN211761668U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 田晓玲 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 266555 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆传动机械臂校准用测试片，用于机台中若干机械臂的相对位置关系的校准，若干机械臂标准的相对位置关系能够根据机台型号确定，测试片为板状结构，规格与传送晶圆一致，且由透明材料制成；测试片上标记有若干标准圆，标准圆位于测试片的顶面和/或底面；标准圆与机械臂相对应，用于确定机械臂与测试片的相对位置；若干标准圆的相对位置关系与若干机械臂标准的相对位置关系相对应。这种测试片可以对机械臂相对位置进行精准校准，提高了精确度和提高操作效率，并且还可以替代晶圆对机械臂进行校准，减少了晶圆破碎的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传动 机械 校准 测试 | ||
【主权项】：
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