[实用新型]一种微焦斑光源参数测量透镜及测量系统有效

专利信息
申请号: 202020140785.3 申请日: 2020-01-21
公开(公告)号: CN212410022U 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 王亚冰;孙天希;邵尚坤;孙学鹏 申请(专利权)人: 北京师范大学
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G03B42/02
代理公司: 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 代理人: 胡丹
地址: 100875 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开披露一种微焦斑光源参数测量透镜及测量系统,该系统包括:X射线聚焦镜,设置于待测量的X射线光源之后,并使所述X射线在其中进行单次全反射;X射线探测器,设置于所述X射线聚焦镜之后,配置有用于调节器件同轴的多维度调节架;所述X射线探测器用于探测经所述X射线聚焦镜全反射的X射线的能量;光束阻挡器,设置于所述X射线探测器之前,用于阻挡通过所述X射线聚焦镜的直通光;数据处理器,与所述X射线探测器连接,用于获取所述X射线探测器的测量数据,并结合测量系统的基础参数数据,调用预设的参数计算公式,计算得到微焦斑光源参数。通过实施本公开的技术方案,能够同时、并且准确地测量及计算得到光源焦斑和焦深。
搜索关键词: 一种 微焦斑 光源 参数 测量 透镜 系统
【主权项】:
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