[实用新型]一种半导体测试机有效
申请号: | 202020150574.8 | 申请日: | 2020-02-03 |
公开(公告)号: | CN211652566U | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 徐明;王元;高金炉;蔡家豪;周立;张家豪 | 申请(专利权)人: | 安徽三安光电有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 241000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型属于半导体设备领域,尤其涉及一种半导体测试机,包括壳体、载盘、放置标准片的基板和主机系统,所述载盘的侧面连接有支撑架,所述基板设置有清针模块和磨针模块,还包括,积分球,位于所述载盘的上方,所述积分球连接至主机系统;探台,设置于载盘的上方的两侧;寻边器,设置于所述探台上,所述寻边器一端连接至主机系统,另一端连接有点测针;CCD扫描仪,设置于探台上;排污结构,连接至清针模块;导轨结构,设置于底座下方及积分球上。本实用新型能够实现自动修正一体化,解决每天人员复杂的机台作业流程,极大缩短大规模测试机台群监控修正时间,并提高企业生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 测试 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽三安光电有限公司,未经安徽三安光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202020150574.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。