[实用新型]平面度测量装置有效
申请号: | 202020155358.2 | 申请日: | 2020-02-07 |
公开(公告)号: | CN211234325U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 和攀峰;石纯龙 | 申请(专利权)人: | 凌龙智能(深圳)科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 深圳市智财汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 44518 | 代理人: | 胡小蓉 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种平面度测量装置。所述平面度测量装置包括机台、承载模组、相机标定模组、激光打点模组、移动模组及电控模组,承载模组设置于机台上且用于承载待测元件,相机标定模组及激光打点模组均通过移动模组连接在机台上,电控模组电连接相机标定模组、激光打点模组,相机标定模组用于对待测元件进行相机标定并输出待测元件的定位数据至电控模组,电控模组用于依据待测元件的定位数据控制移动模组带动激光打点模组移动并发射激光打点信号至待测元件的表面,激光打点模组还用于接收在待测元件的表面的反射的激光打点信号反射信号并输出对应的高度反馈数据至电控模组,电控模组还用于依据高度反馈数据计算并输出待测元件的表面的平面度。 | ||
搜索关键词: | 平面 测量 装置 | ||
【主权项】:
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