[实用新型]等离子体处理装置

摘要

本实用新型提供了等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体、真空泵，箱体由隔板隔成上下两层，上层腔室内安装等离子设备主体，下层腔室内安装真空泵，且下层腔室内至少一面上安装散热机构，包括传热片、导热柱及散热板，传热片位于下层腔室内，导热柱一端穿过腔室壁与传热片固定，另端固定散热板，散热板包括弧形本体及分布在弧形本体上的散热片，本等离子体处理装置改进结构，在下层腔室内安装散热机构用于散热，省却了风扇或水冷装置，通过传热片配合导热柱将下层腔室内热量传导出来，进而利用散热板进行散热，并改进散热板结构，采用弧形本体配合散热片的结构，扩大散热面积，提高散热效率。