[实用新型]真空等离子设备有效
| 申请号： | 202020160484.7 | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN211726804U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 董海青;申鹏 | 申请（专利权）人： | 深圳市创智捷科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;G10K11/16 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 汪建华 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区航城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了真空等离子设备，包括等离子设备主体及真空泵，真空泵位于等离子设备主体所在的第一箱体外，还包括第二箱体，真空泵位于第二箱体内，第二箱体一面上固定第一连接圈，第一箱体至少两面上固定第二连接圈，第一连接圈与第二连接圈通过螺栓固定，真空泵进气口处设连接管，连接管另端与等离子体设备主体的腔室内连通，第二箱体内铺设有消音层，本真空等离子设备主用于清洗工件，主要改进点在于真空泵的安装结构，增设第二箱体，通过第一连接圈、第二连接圈的配合，使第一箱体、第二箱体固定，分体式结构便于调整位置，便于厂房或实验室布局安装，并在第二箱体内安装消音层，大幅降低第二箱体内的真空泵产生的噪音，工作环境更舒适。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 等离子 设备 | ||
【主权项】：
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