[实用新型]一种射频离子源启动灯丝装置有效
申请号: | 202020160723.9 | 申请日: | 2020-02-11 |
公开(公告)号: | CN211125562U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 顾玉明;谢亚红;韦江龙;李军;谢远来;胡纯栋;梁立振;蒋才超;许永建;邑伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | H01J27/18 | 分类号: | H01J27/18;H05H1/46 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供一种射频离子源启动灯丝装置,包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板;所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下法兰绝缘压板上,整体再安装在下法兰盖板上;压紧螺栓将上法兰盖板和上法兰绝缘压板安装在下法兰盖板上,通过拧紧压紧螺栓压紧第一真空密封圈、第二真空密封圈、第三真空密封圈实现真空密封;绝缘陶瓷通过固定钼座安装在下法兰盖板上;其中,启动灯丝装置采用钼棒作为脉冲高压正极,钼座作为脉冲高压负极,利用高压击穿电离建立等离子体,同时充当进气装置安装在驱动盖板中间,避免等离子体放电的不均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 射频 离子源 启动 灯丝 装置 | ||
【主权项】:
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