[实用新型]一种射频离子源启动灯丝装置有效

专利信息
申请号: 202020160723.9 申请日: 2020-02-11
公开(公告)号: CN211125562U 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 顾玉明;谢亚红;韦江龙;李军;谢远来;胡纯栋;梁立振;蒋才超;许永建;邑伟 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: H01J27/18 分类号: H01J27/18;H05H1/46
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明
地址: 230031 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型提供一种射频离子源启动灯丝装置,包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板;所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下法兰绝缘压板上,整体再安装在下法兰盖板上;压紧螺栓将上法兰盖板和上法兰绝缘压板安装在下法兰盖板上,通过拧紧压紧螺栓压紧第一真空密封圈、第二真空密封圈、第三真空密封圈实现真空密封;绝缘陶瓷通过固定钼座安装在下法兰盖板上;其中,启动灯丝装置采用钼棒作为脉冲高压正极,钼座作为脉冲高压负极,利用高压击穿电离建立等离子体,同时充当进气装置安装在驱动盖板中间,避免等离子体放电的不均匀性。
搜索关键词: 一种 射频 离子源 启动 灯丝 装置
【主权项】:
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