[实用新型]真空室内框架监控装置有效
| 申请号： | 202020178477.X | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN212051638U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 关治军;朱安秋 | 申请（专利权）人： | 苏州胜利精密制造科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;胡秋婵 |
| 地址： | 215151 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了真空室内框架监控装置，包括固定在框架(2)底部的射频芯片(3)、及固定在真空室(1)底部的射频芯片读写器(4)，所述射频芯片读写器(4)经套封(5)固定在所述真空室(1)底部的外壁上，所述套封(5)与所述真空室(1)的外壁密封配合。本实用新型提供的真空室内框架监控装置，可监控真空室内框架的状态，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 室内 框架 监控 装置 | ||
【主权项】：
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